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真空泵工作原理及作用
真空泵的工作原理和作用如下:12
工作原理。真空泵通过不断的对气体进行抽吸运动,让一定体积的气体进入泵内,然后又排出去,这样腔内的气体越来越少,泵的整个抽吸越来越低直到平衡,到最终各个密封部分的漏气速率和抽气速率一样,这样真空就制造好了。具体来说,真空泵利用偏心转子在泵腔内形成通过旋转产生体积的变化而将气体排出泵外,主要是在吸气过程中,吸气腔体积增大,真空度降低,将容器内气体吸入泵腔,在排气过程中体积变小,压强增大,最终通过油封将吸入的气体排出泵外。
作用。真空泵的作用是产生负压,从而增加制动力。它用于在某一封闭空间中改善、产生和维持真空,广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。
真空泵工作原理及作用
真空泵是一种设备,它能够将封闭容器内的气体抽出,从而创建并维持一个较低的压力,使得容器内的气体压力低于大气压。真空泵的工作原理基于抽取气体的方法,其作用是产生真空环境,用于各种科学实验、工业生产和工艺过程。真空泵的工作原理主要通过以下过程完成:
1.机械抽气:真空泵通过设备内的运动部件(如活塞、转子等)产生机械运动,将容器内的气体抽出。这种运动可通过电动机或气动装置提供动力。
2.膨润效应:在抽气过程中,快速流动的气体与泵的膨润介质(如油、液体或固体)接触,使气体分子与介质表面发生碰撞,从而将气体分子附着在介质表面上。
3.返抽作用:真空泵的设计结构会产生特定的气流,使得抽出的气体从泵排出,并在抽气结束时防止气体回流。真空泵的作用在很多领域具有重要作用,如:
1.科学实验:许多实验需要在较低压力的环境中进行,以便观察物质在真空下的性质和行为。真空泵用于建立实验室内的真空条件,以便开展各种研究和研发工作。
2.工业生产:许多工业过程需要在真空条件下进行,例如半导体制造、光学镀膜、真空冷冻、真空热处理等。真空泵用于提供所需的真空环境,确保工业生产的质量和效率。
3.高真空设备:许多高科技设备,如电子显微镜、离子注入器、质谱仪等,需要在极低的压力条件下操作。真空泵被用来为这些设备提供稳定的真空环境。
总的来说,真空泵通过抽取气体和降低容器内的压力,创造并维持一个低压环境。其作用十分广泛,并被广泛应用于科学实验、工业生产和高科技设备中。
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真空的获得方法
人们通常把能够从密(闭容器中排出气体或使容器中的气体分子数目不断减少的设备称为真空获得设备或真空泵。目前在真空技术中,采用各种不同的方法,已经能够获得和测量从大气压力10°Pa到10-13pa,宽达18个数量级的压力范围。显然,只用一种真空泵,获得这样宽的低压空间的气体状态,是十分困难的。
在真空获得技术中,目前用以获得真空的技术方法有两种,一种是通过某此机构的运动把气体直接从密闭容器中排出;另一种是通过物理、化学等方法将气体分子吸附或冷凝在低温表面上。利用这两种方法所制造的各种真空泵种类较多,分类方法各异,但是,的方法还是按泵的工作原理或其结构特点加以分类。这一点,我们将在下一节中介绍。
3.1.2 真空泵的分类
按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分为两种类型,即气体传输泵和气体捕集泵。随着真空应用技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽,大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求,因此选用不同类型真空泵组成的真空抽气机组进行抽气的情况较多。为了方便起见,将这些泵按其工作原理或其结构特点进行一些具体的详细的分类是
必要的。现分述如下:
3.1.2.1 气体传输泵
气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出,借以达到抽气目的的真空泵,这种泵基本上有两种类型:
1)变容真空泵变容真空泵是利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气过程的一种真空泵。气体在排出前被压缩。这种泵分为往复式及旋转式两种:
(1)往复真空泵:是利用泵腔内活塞做往复运动,将气体吸入、压缩并排出。因此,又称为活塞式真空泵。
(2)旋转真空泵:是利用泵腔内活塞做旋转运动,将气体吸入,压缩并排出。旋转真空泵又有如下几种型式,
①油封式真空泵:它是利用油类密封各运动部件之间的间隙,减少有害空间的一种旋转变容真空泵。这种泵通常带有气镇装置,故又称气镇式真空泵。按其结构特点分为如下五种型式。
a)旋片式真空泵:转子以一定的偏心距装在泵壳内并与泵壳内表面的固定面靠近,在转子槽内装有两个(或两个以上)旋片,当转子旋转时旋片能沿其径向槽往复滑动且与泵壳内壁始终接触,此旋片随转子一起旋转,可将泵腔分成几个可变容积。
6)滑阀式真空泵:在偏心转子外部装有一个滑阀,转子旋转带动滑阀沿泵壳内壁滑动和滚动,滑阀上部的滑阀杆能在可摆动的滑阀导轨中滑动,而把泵腔分成两个可变容积。
c)定片式真空泵:在泵壳内装有一个与泵内表面靠近的偏心转子,泵壳上装有一个始终与转子表面接触的径向滑片,当转子旋转时,滑片能上、下滑动将泵腔分成两个可变容积。
d)余摆线式真空泵:在泵腔内偏心装有一个型线为余摆线的转子,它沿泵腔内壁转动并将泵腔分成两个可变容积。
e)多室旋片式真空泵:在一个泵壳内并联装有由同一个电动机驱动的多个独立工作室的旋片真空泵。
②)干式真空泵:它是一种不用油类(或液体)密封的变容真空泵
③液环式真空泵:带有多叶片的转子偏心装在泵壳内,当它旋转时,把液体(通常为水或油)抛向泵壳形成泵壳同心的液环,液环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小容积,故亦称旋转变容真空泵。
④罗茨真空泵:泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子,转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。它属于旋转变真空泵。机械增压泵即为这种型式的真空泵。
2)动量传输泵
这种泵是依靠高速旋转的叶片或高速射流,把动量传输给气体或气体分子,使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。具体可分为下述几种类型。
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