vaclab雾化颗粒非蒸发吸气剂AG-NEG泵介绍

vaclab雾化颗粒非蒸发吸气剂AG-NEG泵介绍

由于NEG粉末是采用非接触雾化方法制造的，因此它是真正的球形/高纯度。由于仅将粗颗粒粉末放入细丝网容器中并在不凝固的情况下进行操作，因此抽速高、稳定且无粉尘。

AG-NEG泵的特点

■粉末颗粒形状为的球形
■无尘
■低自释气（XHV用）
■高CO抽速
■ZrVFe三元合金粉末
■通过圆盘数量调节抽速（100至500 L/s） ■
通过延长盘间距离分配泵*2
■护套加热器和热电偶可自由装卸（大气侧）
■自由安装方向
■无振动、无带电粒子、无电力（运行时）

■雾化颗粒非蒸发吸气剂（AG-NEG）泵是一种新形式的NEG粉末，采用新技术非接触雾化方法制造，无需压缩和固化粉末即可作为粉末（颗粒）使用。非蒸发吸气剂 (NEG) 泵。NEG 粉末是的球形，具有极其稳定的表面，可实现高抽速和高度可靠的抽吸特性。粉末表面光滑稳定，因此再抽真空时从表面层释放的自体气体极少，非常适合UHV/XHV发电。由于我们使用颗粒状较大的NEG粉末，粒径为100~200μm，因此可以薄薄地密封在衬有细丝网的圆盘形传热容器中，无需担心NEG粉末的散射。此外，NEG粉末是通过中央加热管（常压侧）的传导加热来活化的，因此活化过程中散发的辐射热也很少。

■与传统NEG泵的差异
为了使用NEG合金作为吸气泵，需要增加气体分子的吸附表面积，并且将NEG金属粉化是必要的。传统NEG泵中使用的NEG粉末是通过以下方法生产的：机械粉碎锭，收集粉末，然后（1）使用共晶工艺将其薄薄地附着到含Ni的金属带上，或（2）少量生产等方法。添加碳并压制成丸状，(3)混合锆金属粉末，真空烧结。由于这个原因，粉末的形状是随机的，并且有很多突起（这就是它能够固化的原因），并且粒度分布很宽，从几μm到几百μm，使得NEG粉尘不可避免地使用时会剥落。另外，由于粉末经过一次粉碎，然后再次固化，导致粉末的实际表面积减少，这也造成NEG成本的增加。
另一方面，采用雾化法生产的NEG粉末粒径分散度小，且呈球形，因此其作为NEG的稳定性大大提高。另一方面，颗粒之间很难结合，因此不可能构造出像传统粉末一样压缩和固化的泵。我们改变思路，不再将NEG粉末固化，而是将其放入网孔小于粉末粒径的丝网容器中，以防止粉末飞散。因此，我们成功开发了一种稳定、低成本、无尘的 NEG 泵，每克 NEG 粉末具有很高的抽速。

■AG-NEGポンプの性能は、下図に示した様な評価装置で調べることができます。H2はNEGのバルク中に拡散するので、排気を続けても排気速度の低下は殆ど起こりませんが、COやN2は排気が進むとNEGの表面を覆い、排気速度が落ちてきます（再活性で初期値に戻る）。このためNEGの性能を表す排気速度S のグラフは、横軸にどれだけガスを吸着したかを示す排気積算値Qt (m3･Pa)を取り、縦軸に排気速度S(L/s)を取るのが慣例になってます。
しかし、UHV/XHV領域では、COやN2による劣化は殆ど進みませんので、横軸を通常圧(Pa)で表示した方が特性解釈がし易いので、弊社では通常圧で表示するようにしてます。ただ、S1=C[(P2-P2u)/(P1-P1u) -1] , P1u, P2u：达到的真空，人们常常错误地认为用NEG泵可以达到10 -11 Pa或更低的真空，因此不减去所达到的真空的有效抽速的公式为S 2 = C ( P 2 / P还包括1-1 ) 中获得的曲线，并用作可通过 NEG 实现的真空的指南。下图所示的AG-NEG的抽速是5个圆盘的特性，但即使增加圆盘的数量，也能得到近似正比的抽
速曲线。