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ULVAC真空泵所产生的废气有哪两种处理方法呢？
ULVAC真空泵产生的废气如何处理？在工厂的ULVAC真空泵会挥发一部分废气，其实ULVAC真空泵本身是不会产生废气的，ULVAC真空泵排放的废气主要就是工作系统中所用的气体成分，这部分的废气如何进行处理呢，其实简单直接而且投资少的方式，就是采用炭吸附进行收集后净化排放，利用的活性炭的吸附特性，可以对气体进行吸附有害成分，从而达到一个好的净化空气的效果，本文小编带您了解一下ULVAC真空泵废气处理采用的两种方式。
ULVAC真空泵所产生的废气成分不单一，采用的两种方式的工艺流程，可以使有机废气在收集后通过设备净化，然后再经过15米烟囱高空排放到大气中。
1、离子净化法：采用高压发生器形成低温等离子体，在平均能量约5eV的大量电子作用下，使通过净化器的苯、甲苯、二甲苯等有机废气分子转化成各种活性粒子，与空气中的O2结合生成H2O、CO2等低分子无害物质，使废气得到净化。在处理过程中，当有机气体进入冷离子体反应室时，气体被均匀分配到等离子反应室(PRC)。反应室分成149根六边形管子，每根管子的中心有一根冠状电线，与反应室独立隔开。
通过高压线对反应室导通可调节高压，高压导通到管子里的管状电线上。由电线至管壁产生放电现象。一旦放电，等离子体电子就与气体分子相撞击，产生化学性活性核素，就是通常所说的激进和负荷载体。此外，还具有微型静电沉淀器的功能，该装置可以除尘。
2、炭吸附法：主要由活性炭层和承托层组成。活性炭具有发达的空隙，比表面积大，具有很高的吸附能力。正是由于活性炭的这种特性，它在水的深度处理中被广泛应用，如生活给水，污水后段的(净水)深度处理等。活性炭使用一段时间后，吸附了大量的吸附质，逐步趋向饱和，丧失了工作能力，严重时将穿透滤层，因此应进行活性炭的再生或更换。
以上介绍了两种处理ULVAC真空泵废气的方法，其实方式方法还有很多，主要是ULVAC真空泵废气的管道收集问题，需要设计好主管道的管径，支管道的管径等。
关键词：
真空泵
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