单晶圆晶圆清洗过程中波纹管泵的排出压力不稳定如何解决

单晶圆晶圆清洗过程中波纹管泵的排出压力不稳定如何解决

我负责半导体晶圆清洗工艺的设备。目前，我们正在做单晶圆晶圆清洗。
到目前为止，我们一直使用的波纹管泵在清洗喷嘴之间切换时不能很好地跟随压力波动。结果，排放压力不稳定，清洗效果不一致。有什么好的方法可以解决这个问题吗？

推荐使用无需阻尼器即可实现低脉动运转的“低脉动波纹管泵FLP-60W”！

对于这种情况，推荐磐城的“低脉动波纹管泵FLP-60W”！只要使用阻尼器，我认为很难提高跟踪性能。
在这方面，“低脉动波纹管泵FLP-60W”凭借其机构无需阻尼器即可低脉动运行，具有高负载跟随性。因此，实现了排放量和排放压力的稳定运行。
此外，由于往复泵*的惯性阻力小，与现有泵相比（与本公司相比），排出量和排出压力增加。

凭借适合单晶圆工艺的出色负载跟随性实现稳定运行。气动低脉动波纹管泵FLP系列

PULSERASER

• 无需阻尼器即可实现低脉动和节省空间

• 通过波纹管焊接结构防止液体泄漏的安全设计